Spin Coater ERK-MB-HP
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작성자이알케이 댓글 0건 조회 282회 작성일 23-02-02 14:06본문
제품 사진
제품 설명
Hot Plate System
(ERK-MB-HP Series)
+ ERK-MB-HP Model은 Wafer, Glass등 모든 기판의 상부
Chemical Coating후 경화를 하기 위한 Table Type Bake System입니다.
+ 특징
§ Manual Table Type Bake System
§ 적용 Wafer : 4” ~ 15”
§ Manual loading & Auto process
§ Lift Pin Up/Down 구동
§ HP Temp : Max 200℃
§ Bake Time, Temp Control
§ Option : HP Temp Max 300℃
Hot Plate
+ Al Plate
+ Cylinder Up/Down Lift Pin ( 3ea ~ )
+ Ceramic Proximity Ball (0.1 ~ 0.2mm)
+ Manual Cover Open/Close
+ Cover 상부 Exhaust Port (Option)
System Specification
ITEM | ERK-MB-HP-150 | ERK-MB-HP-200 | ERK-MB-HP-300 |
Substrate Size | Max 6” Wafer | Max 8” Wafer | Max 12” Wafer |
Hot Plate Temp | Max 200 ℃ | ||
Heater | Mica or Sheath Heater | ||
Proximity Ball | 0.1 ~ 0.2mm Ceramic | ||
Lift Pin | SUS304 - 3 Pin | ||
Cylinder Up/Down 구동 | |||
Cover | Manual Open/Close (Option ; Exhaust Port) | ||
Control | Bake Time / Bake Temp / Overheat Interlock | ||
Utility | AC220V / CDA | ||
Option | HP Temp : Max 300℃ | ||
Hot Plate System [ Stand Alone Type type ]
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