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Spin Coater

페이지 정보

작성자이알케이 댓글 0건 조회 12회 작성일 22-10-12 17:22

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제품 사진
제품 설명

기판에 도포액체를 코팅



Specification


Type

ERK-CB-150

ERK-CB-200

ERK-CB-340

Substrate Size

Max 6” wafer

800mm × 800mm x 1850mm

Max 8” wafer

1800mm ×800mmx 1850mm

Max 13.4” wafer 5000mm × 2000mmx 2400mm

F.F.U

220V, 1∮ , HEPA-Filter , Pre-Filter

F,F,U CMM

Max 8CMM

Max 23CMM

Max 64CMM

조명

Yellow 32W

Controller

Single

Single

Dual

HEPA Filter Size

570mmx570mmx   75Tx1EA

570mmx1490mmx 75Tx1EA

570mmx1170x    75Tx4EA

Door

여닫이 Door(양개)

Sliding Door(상하)

미닫이 Door

Dispense Arm

PR, EBR Nozzle, Stepping Motor In/Out, Cylinder Up/Down

EBR,BSR

Bottle 내장 Steel Tank + N Press

Option

Chemical supply module

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