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작성자이알케이 댓글 0건 조회 287회 작성일 23-01-26 14:42

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제품 설명

마이크로 LED Display 제조 공정 중, 기판 패터닝 및 LED 전사 상태 등을 검사할 수 있는 Automatically Optical Inspection 장비 이며, 다양한 Defect 검출 능력을 보유하여, 전수 검사를 수행할 수 있음.


Specification


 Motor

Linear servo motor

 Amplifier

Controller 일체형

 Motion

 Controller

UMAC

 Encoder

1Vpp output

Scale

20 ㎛ signal period Panel scale,

0.1 ㎛ TTL, Accuracy: <  ±  3 ㎛/m

 Encoder

 Resolution

0.1

 Repeatability

X,Y-Axis  <  ±  1 ㎛

 Accuracy

X,Y-Axis  <  ±  1.5 ㎛

 Pay load

Max. 100 Kg

Maximum

Acceleration

X,Y-Axis > 0.2G

Maximum

Velocity

>  400 mm/sec

 

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