ERK-DS > 장비

Micro LED 리페어용 1um 정밀도 디스펜서

(ERK-DS Series)

MICRO LED 제조 Line에 사용하는 Glass/Wafer를 Stage에 진공흡착 고정한 후, 

Wafer 표면에 Dispenser를 이용하여 지정된 약액을 도포하고 Wafer를 

하류 공정에 배출하는 일련의 도포 장치임.

 ▪ 다양한 Unit 구성

       - Dispensing Head, XY Stage, Gantry

       - Top Vision , Bottom vision , Side View

 ▪ 정밀 Dispensing System
       - 도포전 평탄도 측정

       - Needle Align 기능

       - Dispensing , Real Time Monitoring

 ▪ 안정되고 검증된 Scheduler 적용

   User Friendly Interface & Display

Dipenser Head

+ High performance Valve

+ Ceramic Needle

+Optical Triangulation Position Sensor

+Top Vision , Side View

XY Stage & Gantry

+ XY axis Coreless Motor , Ceramic Scale

+ Theta Axis - Air Floating

+ Granite Table , Bridge

+ Bottom Vision

System Specification