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Spin Coater ERK-MS-CB

페이지 정보

작성자이알케이 댓글 0건 조회 233회 작성일 23-02-02 14:05

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제품 설명

제품 설명

Spin Coating & Bake System

(ERK-MS-CB Series)


+  ERK-MS-SB는 System내 Spin Coater와 Hot Plate Module을 

탑재하여 두가지 기능을 동시에 수행 가능하며 내부의 Gas 

배출과 안정된 공정을 위해 배기 Duct가 설치되어 있다.

특징

§ Stand Alone Type System
§ Spin Coater Unit, Hot Plate Unit 탑재
§ Manual loading & Auto process
§ System내부 Exhaust 배관 설치 및 제어
§ Digital Process Controller
§Time, Speed, Acceleration,
§ Spin Speed Repeatability : ± 1 rpm
§ Color Touch Screen
§ Drain Tank설치

+ Process

§   Coating, Baking
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Spin Coater

+ Manual loading & dispense

+ Chuck Up/Down구조 (Option)

+ Jig Centering (다양한 Size 사용가능)

+ Option : Chemical dispense arm

  Hot Plate

+ Manual Loading

+ Plate 상부 Exhaust Hood 설치

  Damper 설치

+ Option : Stirrer 기능


System Specification


ITEM

ERK-MS-CB-150

ERK-MS-CB-200

ERK-MS-CB-300

Substrate Size

Max 6” wafer

150mm × 150mm

Max 8” wafer

200mm ×200mm

Max 12”

300mm × 300mm

Spin Motor

AC Servo Motor

Rotation Speed

Max 5000rpm

Max 5000rpm

Max 3000rpm

Spin Chuck 

Aluminum / Acetal / Etc (up/down, cylinder)

Changeable according to wafer size

Bowl Size

280mm

330mm

430mm

Controller / Display

PLC, 7” Touch Panel (Option : PC Control)

Program storage

20 steps 20 recipe programming

Hotplate

Specially designed heating module, Ceramic coating plate

Temp

Max. 380℃  (± 0.3℃ at Set Temperature)

Option

PR auto dispense arm, Chemical supply module



Spin Coater, Developer & Bake System


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Spin coater & Bake system

 (ERK-SS-CB Series)

+ Unit  configuration

   =  Spin coater, Hot plate & Cool plate

+ Spin Coater

   = Wafer : Max 12” 

   = PR, EBR Dispense Arm

+ Hot Plate

   = Temp : Max 300℃

+ Cool Plate

   = Temp : 15 ~ 35℃

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