Spin Coater ERK-MS-CB
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작성자이알케이 댓글 0건 조회 137회 작성일 23-02-02 14:05본문
제품 사진
제품 설명
Spin Coating & Bake System
(ERK-MS-CB Series)
+ ERK-MS-SB는 System내 Spin Coater와 Hot Plate Module을
탑재하여 두가지 기능을 동시에 수행 가능하며 내부의 Gas
배출과 안정된 공정을 위해 배기 Duct가 설치되어 있다.
+ 특징
+ Process
Spin Coater
+ Manual loading & dispense
+ Chuck Up/Down구조 (Option)
+ Jig Centering (다양한 Size 사용가능)
+ Option : Chemical dispense arm
Hot Plate
+ Manual Loading
+ Plate 상부 Exhaust Hood 설치
Damper 설치
+ Option : Stirrer 기능
System Specification
ITEM | ERK-MS-CB-150 | ERK-MS-CB-200 | ERK-MS-CB-300 |
Substrate Size | Max 6” wafer 150mm × 150mm | Max 8” wafer 200mm ×200mm | Max 12” 300mm × 300mm |
Spin Motor | AC Servo Motor | ||
Rotation Speed | Max 5000rpm | Max 5000rpm | Max 3000rpm |
Spin Chuck | Aluminum / Acetal / Etc (up/down, cylinder) Changeable according to wafer size | ||
Bowl Size | 280mm | 330mm | 430mm |
Controller / Display | PLC, 7” Touch Panel (Option : PC Control) | ||
Program storage | 20 steps 20 recipe programming | ||
Hotplate | Specially designed heating module, Ceramic coating plate | ||
Temp | Max. 380℃ (± 0.3℃ at Set Temperature) | ||
Option | PR auto dispense arm, Chemical supply module | ||
Spin Coater, Developer & Bake System
Spin coater & Bake system
(ERK-SS-CB Series)
+ Unit configuration
= Spin coater, Hot plate & Cool plate
+ Spin Coater
= Wafer : Max 12”
= PR, EBR Dispense Arm
+ Hot Plate
= Temp : Max 300℃
+ Cool Plate
= Temp : 15 ~ 35℃
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