Wafer TC 계측시스템 > 부품

Wafer 계측 시스템 개요  

◆ Wafer 계측시스템(SNTI-1000)은 Wafer T/C가 표시하는 온도를 정확하고 빠른 응답속도로 화면에 표시합니다.

◆ Wafer T/C의 계측에 최적화된 제품으로, 편리하고 정밀한 온도분석을 통해 장비의 최적화와 분석을 용이하게 합니다.

◆ ERK는  Wafer T/C 제조 기술기반과 분석할 수 있는 계측 시스템의 자체 개발로 고객에게 최고의 서비스를 제공합니다.

◆ 자체 개발품이라는 특징으로 H/W & S/W의 개선 제안 및 변경에 대한 고객의 의견을 적극적으로 반영합니다.

제품 사양 – 하드웨어 구성

◆ SNTI-1000 하드웨어 : 210 x 80 x 20 mm (W x L x H) • 무게 : 700g

◆ Connector : 37pin D-sub Female

◆ Gender : Mini Plug Female 10ch 기본, 커스터마이징 가능(Mini Male, 다른 형태의 Connector 변환 가능)

◆ 채널확장 : 최대 3ea 결합 가능 : Max ~54ch (1ea = 16ch)

◆ 태블릿 PC(선택 옵션) : Surface Pro 7+ i5/8GB/128GB Platinum

제품 사양 – 소프트웨어 구성

◆ 기본 UI 구성 

제품 사양

◎ Graphic

① 2D, 3D 선택 가능

② Countour : 등고선 표시로 Uniformity 확인 가능

③ Notch 방향 설정 : Top / Right / Bottom / Left

④ 전체 화면으로 전환

⑤ 최고온도와 최저온도를 한눈에 알아보기 쉽게 화면에 표시됨 

제품 사양

◎ Chart

① Load Data의 경우 특정 지점의 온도 분포 확인

② 상/하/좌/우 확대 및 축소 버튼 : 온도 분포도 확인

③ Chart의 배경 선 표시 / 제거

④ Max / Min 온도 포인트의 컬러 표시

⑤ 전체 화면으로 전환

제품 사양

제품 사양 

◎ 추가 기능

◆ 데이터는 엑셀 파일로 저장

◆ 캡쳐 기능 : 별도의 버튼 클릭으로 가능하며 Graphic / Chart / Data의 최대 화면에도 적용 가능

제품 사양 

◎ 주요 성능 지표

◆ 측정 채널 수 : 기본 18ch, 최대 54ch (18ch x 3결합모드, D-sub 37핀 연결 혹은 TC 커넥터 브릿지)

◆ Type K, J, N, R, S, T, E, B 써모커플 8종 지원 (K-type 기본, NIST-ITS90규격 기준)

◆ 열전대 전압 측정 정확도 : ±0.15%

◆ 내부 냉접점 보상 시스템 구성, Cold Junction Accuracy : ±0.7℃

◆ 측정 해상도 : Hot and Cold-Junctions : +0.0625℃ (typical)

◆ 측정 속도 : 3 ~ 1 Hz (18ch/36ch 동작기준)

◆ 50Hz/60Hz 노이즈 제거 필터링으로 시스템 성능 향상

◆ 무선 통신 : Bluetooth 2.0 – EDR (2Mbps, 유선 115200 bps), 10M 이내

◆ 사용 전원 : 5V (USB-C 커넥터)

◆ 소모 전력 : 1W max

◆ 동작 조건 : -20 ~ 85℃

 ◎ 사용 환경

 ◆ Windows 10 지원 PC

 ◆ 전용 측정 뷰어 Application (제공 설치 파일 외 별도 패키지 필요 없음)

제품 비교 - 타社  

◎ 타社 제품과의 차이점

◆ 무선 Bluetooth 기능 : 타社의 경우

 『 TC 커넥터 – 계측기 - 노트북 』 연결 시 유선 Cable 사용

◆ 다양한 Display 기능 : 폐社 제품의 경우 Display 사용 시

 『Graphic / Chart / Data 』 Mode 로 다양한 활용이 가능한

 반면, 타社의 경우 Data로만 정보 확인 가능

◆ 간단한 Hardware 구성 : 전체 구성품의 종류와 부피가

 타社와 비교 시 간소화 (휴대성 /편리성 우수 )

* 폐社 계측기 : 700g 타社 계측기 : 1040g