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스핀코터 공정

페이지 정보

작성자이알케이 댓글 0건 조회 67회 작성일 23-02-03 09:37

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제품 사진
제품 설명

Wafer의 다양한 사이즈에 맞추어 코팅가능 



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Main Specification 


Wafer Size

2” ~ 15”

Motor

AC Servo Motor

RPM

Max 5000RPM ± 1RPM

Operation Panel

4” Color touch screen

Recipe programmable

 

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