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Spin Coater Spin Coater

페이지 정보

작성자이알케이 댓글 0건 조회 146회 작성일 23-01-26 16:01

본문

제품 사진
제품 설명

Spin Coating System

(ERK-SS-AD Series) 


+  ERK-SS-ADAuto Dispense 기능을 갖춘 Spin Coating System으로 

PR, EBR Dispense ArmMotor에 의해 구동되어 정확한 위치에 Chemical을 

Dispense하기 위한 System.

+ 특징

§ Table Type Spin Coater

§ Manual loading & Auto process

§ PR, EBRDispense Arm

§ Back Side Rinse Dispense

§ Digital Process Controller

§Time, Speed, Acceleration,

§ Spin Speed Repeatability : ± 1 rpm

§ Color Touch Panel Operation

§ PR, Solvent Supply Module

+ Process

§   Spin Coating (with EBR, BSR)

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Coating Unit

+ Manual loading

+ Chuck Up/Down구조

+ Jig Centering (다양한 Size 사용가능)


  PR, EBR, BSR

+ Syringe type needle, Barrel

+ N₂ Press (Time Control)

+ Air Operate Valve

 

 System Specification


ITEM

ERK-SS-AD-150

ERK-SS-AD-200

ERK-SS-AD-300

Substrate Size

Max 6” wafer

100mm × 100mm

Max 8” wafer

150mm ×150mm

Max 12” wafer

200mm × 200mm

Spin Motor

AC Servo Motor

Rotation Speed

Max 5000rpm

Max 5000rpm

Max 3000rpm

Spin Chuck 

Aluminum / Acetal / Etc (up/down, cylinder)

Bowl Size

300mm

350mm

450mm

Controller / Display

PLC, 4” Touch Panel

Program storage

20 steps 20 recipe programming  (PLC)

Dispense Arm

PR, EBR Nozzle, Stepping Motor In/Out, Cylinder Up/Down

EBR,BSR

Bottle 내장 Steel Tank + N Press

Option

Chemical supply module



Spin Coater (with PR Auto Dispense)


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Spin coater (with PR Auto Dispense)


+ Coater

   =  Manual loading & auto dispense

   =  Motor : AC Servo Motor

   =  PLC, 4” Touch panel

   =  PR On/Off Valve, time control

+ Chemical supply module

   = Tank : N₂ 가압 방식

   =  PR Bottle : 1 Liter bottle 내장

   =  N₂ Pressure control

   =  Clamp 체결 방식



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