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Spin Coater ERK-SS-SD

페이지 정보

작성자이알케이 댓글 0건 조회 147회 작성일 23-02-02 14:04

본문

제품 사진
제품 설명

제품 설명

Spin Developer System

(ERK-SS-SD Series)


+ ERK-SS-SD는 Coating, Exposure 후 Pattern 현상을 

위한 장치로 제품 공정 및 Substrate에 따라 다양한 노즐,

Spin chuck을 구성하여 최적의 Develop Process를 구현합니다.

특징

§ Stand Alone Type
§ Manual loading & Auto process
§ Auto Process Control
§Recipe (Time, Speed, Dispense)
§ 다양한 Chemical dispense nozzle
§Fan spray, Puddle, Jet Etc
§  Chemical supply method
§N₂ Press, Chemical pump

+ Process

   Wafer, Glass, Ceramic(MLC) … 

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ERK-SS –SD (Wafer)

+ Substrate : Max 12”

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  ERK-SS-SD (Ceramic)

+ Substrate : 300mm Ceramic


System Specification


ITEM

ERK-SS-SD (Wafer)

ERK-SS-SD (Ceramic)

Substrate Size

Max 12”

Max 12” ( t = 6)

Spin Motor

AC Servo Motor

Rotation Speed

Max 3000rpm

Max 2000rpm

Spin Chuck 

Aluminum / Acetal / PP / Etc

Bowl

SUS, PP, Teflon Etc

# of Dispense Arms

Max 3 dispense arms

Up to 2 chemical lines, up to 2 final rinse lines

Dispense Nozzle Types

Puddle / Spray / Stream / High pressure (spot or spray)

Chemical Supply

N2 Pressure / Magnet pump

Controller / Display

PC & 15”  Monitor  / PLC & 7” Touch Panel

Option

FFU, Chemical temp control Etc



Spin Cleaning System


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Spin  Cleaning System

+ Substrate

   =  8” ~ 12” Ceramic

+ Dispense Arms

   = 2 Chemical Arm

   = 3 Cleaning nozzle, 2 Rinse nozzle, N2 dry

+ Chuck, Bowl

    = PP Chuck (Cylinder Up/Down)

   = PP Blow

+  Chemical supply : Magnet pump

+  Chemical flow control

+  Chemical temp control

 

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