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Spin Coater ERK-MB-HP

페이지 정보

작성자이알케이 댓글 0건 조회 155회 작성일 23-02-02 14:06

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제품 설명

제품 설명

Hot Plate System

(ERK-MB-HP Series)


+  ERK-MB-HP Model은 Wafer, Glass등 모든 기판의 상부 

Chemical Coating후 경화를 하기 위한 Table Type Bake System입니다.

특징

§ Manual Table Type Bake System
§ 적용 Wafer : 4” ~ 15”
§ Manual loading & Auto process
§ Lift Pin Up/Down 구동
§ HP Temp : Max 200℃
§ Bake Time, Temp Control
§ Option : HP Temp Max 300℃

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Hot Plate

+ Al  Plate

+ Cylinder Up/Down Lift Pin  ( 3ea ~ )

+ Ceramic Proximity Ball  (0.1 ~ 0.2mm)

+ Manual Cover Open/Close

+ Cover 상부 Exhaust Port (Option)


System Specification


ITEM

ERK-MB-HP-150

ERK-MB-HP-200

ERK-MB-HP-300

Substrate Size

Max 6” Wafer

Max 8” Wafer

Max 12” Wafer

Hot Plate Temp

Max 200 

Heater

Mica or Sheath Heater

Proximity Ball

0.1 ~ 0.2mm Ceramic

Lift Pin

SUS304  - 3 Pin

Cylinder Up/Down 구동

Cover

Manual Open/Close (Option ; Exhaust Port)

Control

Bake Time / Bake Temp / Overheat Interlock

Utility

AC220V / CDA

Option

HP Temp : Max 300



Hot Plate System [ Stand Alone Type type ]


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