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Spin Coater ERK-MS

페이지 정보

작성자이알케이 댓글 0건 조회 249회 작성일 23-02-02 14:07

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제품 설명

제품 설명

Spin Coating System

(ERK-MS Series)



특징

§  Digital Process Controller
§Time, Speed, Acceleration
§  고성능 Motor 적용
§AC Servo Motor 채용
§Spin Speed Repeatability : ± 1 rpm
§  Chuck  진공압력 표시 & Interlock
§  Color 4” Touch Panel
§Operation이 용이함.
§Recipe 편집저장입출력 수동 제어
§  다양한 Spin Chuck 설계 및 제작
§  Chemical direct drain port

+ Option

§  Chemical Auto Dispense Module
§  Edge Bead Removal,  Back Side Rinse Dispense

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 ERK-MS 300

+ Substrate :  300mm wafer

+  Al 6061 Chuck


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 Operation Panel

+ 4” Color touch screen

+ Recipe programmable


System Specification


ITEM

ERK-MS 100

ERK-MS 150

ERK-MS 200

ERK-MS 300

Substrate Size

Max 4” wafer

100 × 100mm

Max 6” wafer

150 ×150mm

Max 8” wafer

200 × 200mm

Max 12” wafer

300 × 300mm

Spin Motor

AC Servo Motor

Rotation Speed

Max 5000rpm ± 1rpm

Max 3000rpm

Spin Chuck 

Aluminum / Acetal / Peek Etc

Bowl Size

230mm

280mm

300mm

400mm

Bowl Material

Stainless Steel

Controller / Display

PLC  / 4” color touch panel

Recipe

20 steps 40 recipe programming

RPM / Time / Acc Setting

Power

1 Phase 220V 3A

Option

Auto dispense module / Edge rinse or Back rinse dispense function

Spin Speed : 7,000rpm /  Chemical Drain Port


EBR Dispense Module


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Spin coating system

(with EBR dispense module)

+ Dispense control

   = N₂ press + Manual Switch control

+ Chemical Tank

   =  Stainless steel tank

   =  1 liter chemical bottle 내장

+ Suck back valve (Option)

 

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