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Spin Coater ERK-SS SC

페이지 정보

작성자이알케이 댓글 0건 조회 212회 작성일 23-02-02 14:08

본문

제품 사진
제품 설명

Spin Coating System

(ERK-SS SC)


 
+ ERK-SS-SC는 Wafer, Glass등의 기판에 Chemical을        

일정 Thickness로 Coating하기 위한 장치로 다양한 

노즐 및 Dispense방식을 적용하여 최적의 

Coating Process를 구현합니다.

특징

§ Stand Alone Type System
§ Manual loading & Auto process
§ Auto Process Control
§Recipe (Time, Speed, Acceleration)
§ Spin Speed Repeatability : ± 1 rpm
§ 15” Touch Screen

+ Process

§   Wafer, Glass, Ceramic Coating …


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 ERK-SS 300

+ Substrate : Max 300mm Wafer

+ Direct Drain & Exhaust Line



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  ERK-SS-CB

+ Substrate : Max 200mm round

+ Spin Coater, Hot Plate




System Specification


ITEM

ERK-SS 150

ERK-SS 200

ERK-SS 300

Substrate Size

Max 6”

100mm × 100mm

Max 8”

200mm ×200mm

Max 12”

200mm × 200mm

Spin Motor

AC Servo Motor

Rotation Speed

Max 5000rpm

Max 5000rpm

Max 3000rpm

Spin Chuck 

Aluminum / Acetal / Etc

Changeable according to wafer size

Bowl Size

200mm

250mm

300mm

Controller / Display

PC , 15”  Monitor / PLC, 7” Touch Panel

Program storage

20 steps 20 recipe programming  (PLC)

Option

FFU, Filter Etc


Semi Auto Bake System


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Semi auto baking system

(with Hot Plate & Cool Plate)

+ Plate configuration

   =  Hot plate & Cool plate

+ Hot Plate

   = Temp : Max 350

 + Cool Plate

    = Temp : 15 ~ 35

   = Circulator control

+  Pin Up/Down

+  Baking time control


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