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TC Wafer

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작성자이알케이 댓글 0건 조회 253회 작성일 23-02-02 16:52

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제품 사진
제품 설명

T/C Wafer 개요

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T/C(Thermocouple) Wafer  Wafer의 표면온도를 파악하고 제어하는 것이 중요한 반도체 처리 장비에 적용됩니다빠른 응답속도와 정밀한 온도 측정으로 반도체 장비를 검사하는 중요한 역할을 하고 있습니다.


ERK의 계측 웨이퍼는 RTP (Rapid Thermal Processing), RTA (Rapid Thermal Annealing), PEB (Post Exposure Bake), CVD (Chemical Vapor Deposition), PVD (Physical Vapor Deposition), ION과 같은 많은 공정에서 사용됩니다.


저희 ERK는 Silicon, AlTiC, Glass, Ceramic 및 기타 공급되는 Bare를 포함하여 코팅 기판 Wafer까지 광범위하게 열전대를 설계설치할 수 있는 전문 지식 경험을 갖추고 있습니다.



제품 사양 



◎ PRODUCT TEMPRATURE RANGE



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1) Up to 300

  *Insulation : Polyimide

  *Process   : Track, SOD, PKG


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 2) Up to 800

 *Insulation : Silica Yarn, MI Cable(Inconel600)

 *Process   : CVD, Diffusion


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3) Up to 1200

  *Insulation : Alumina Fiber, Micro Quartz

  *Process   : CVD, PVD, RTP, EPI, LPCVD, Diffusion, Oxidation



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4) Other

 *Insulation : Teflon, Polyimide

 *Process   : PKG



제품 사양


◎ ACCURACY

 

1. K-TYPE : 0 ~ 1250 , ±1.1 ℃ or 0.4%

2. R/S-TYPE : 0 ~ 1450 , ±0.6 ℃ or 0.1 


◎ SPECIFICATIONS


1) Sensor Leads : Customization Available


2) Insualtions

    Teflon : ~220

    PFA / Polyimide : ~250℃ / ~350

    Silica Yarn : ~850

    Alumina Fiber : ~1,200

    Quartz : ~1,200


3) Wire Gauges : 30~40 AWG


4) Substrates

    : Silicon, AlTic, Glass, Ceramic and Other Supplied Bare,

      Coated or Patterned Substrates.

      Other custom substrates, Shapes and sizes available.


5) Wafer Size (Inch)

    : 2”, 4”, 5”, 6”, 8”, 12”, 18”, other (Customization Available)




◎ Vacuum Feedthrough

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◎ Terminations


1) Mini Plug & High temp Ceramic


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2) D-sub Pin Connecotr

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3) Y-rug & O-rug


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4) Vacuum Contacts Pins

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검사 방법 및 성적서 발행


1. 온도(Uniformity Test)


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üT/C Wafer의 제작을 완료한 후 검증단계

ü온도 안정화 후 균일도 검사


2. 성적서 발행



ü고객이 원하는 온도대역에서 테스트



Thermocouple 제조 실적



제작 수량



구분

’18

’19

Profile TC

1,326

1,290

Spike TC

280

47

Epi TC

133

137

Wafer TC

219

126

기타

1,276

535

합계

3,234

2,135



※ Remarks


 1) SK hynix 外 20여 고객사


 2) 신규 및 수리 제작을 합친 연간 총 수량


 3) K Type General TC는 기타로 분류

 

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