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T/C Wafer 개요

T/C(Thermocouple) Wafer는  Wafer의 표면온도를 파악하고 제어하는 것이 중요한 반도체 처리 장비에 적용됩니다. 빠른 응답속도와 정밀한 온도 측정으로 반도체 장비를 검사하는 중요한 역할을 하고 있습니다.

ERK의 계측 웨이퍼는 RTP (Rapid Thermal Processing), RTA (Rapid Thermal Annealing), PEB (Post Exposure Bake), CVD (Chemical Vapor Deposition), PVD (Physical Vapor Deposition), ION과 같은 많은 공정에서 사용됩니다.

저희 ERK는 Silicon, AlTiC, Glass, Ceramic 및 기타 공급되는 Bare를 포함하여 코팅,  기판 Wafer까지 광범위하게 열전대를 설계, 설치할 수 있는 전문 지식과 경험을 갖추고 있습니다.

제품 사양 

◎ PRODUCT TEMPRATURE RANGE

  ＊Insulation : Polyimide

  ＊Process   : Track, SOD, PKG

 2) Up to 800℃

 ＊Insulation : Silica Yarn, MI Cable(Inconel600)

 ＊Process   : CVD, Diffusion

 

3) Up to 1200℃

  ＊Insulation : Alumina Fiber, Micro Quartz

  ＊Process   : CVD, PVD, RTP, EPI, LPCVD, Diffusion, Oxidation

4) Other

 ＊Insulation : Teflon, Polyimide

 ＊Process   : PKG

제품 사양

◎ ACCURACY

1. K-TYPE : 0 ~ 1250 ℃, ±1.1 ℃ or 0.4%

2. R/S-TYPE : 0 ~ 1450 ℃, ±0.6 ℃ or 0.1 

◎ SPECIFICATIONS

1) Sensor Leads : Customization Available

2) Insualtions

    ＊Teflon : ~220℃

    ＊PFA / Polyimide : ~250℃ / ~350℃

    ＊Silica Yarn : ~850℃

    ＊Alumina Fiber : ~1,200℃

    ＊Quartz : ~1,200℃

3) Wire Gauges : 30~40 AWG

4) Substrates

    : Silicon, AlTic, Glass, Ceramic and Other Supplied Bare,

      Coated or Patterned Substrates.

      Other custom substrates, Shapes and sizes available.

5) Wafer Size (Inch)

    : 2”, 4”, 5”, 6”, 8”, 12”, 18”, other (Customization Available)

◎ Vacuum Feedthrough

◎ Terminations

1) Mini Plug & High temp Ceramic

2) D-sub Pin Connecotr

3) Y-rug & O-rug

4) Vacuum Contacts Pins

검사 방법 및 성적서 발행

1. 온도(Uniformity Test)